檢索結果:共7筆資料 檢索策略: "鄭正元".ccommittee (精準) and year="94"
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準分子雷射重熔矽膜是目前加工低溫多晶矽最常見的手法,但在狹小的製程窗口下其複雜的結晶機制,往往難以控制。大多數的製程參數設定都是以試誤法的方式來進行調整。但是在試誤過程中所耗費的人力、資源及時間難以…
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光束整型即是改變光束能量分佈型態的技術。一般雷射光束之能量分佈為高斯分佈。在許多應用上,都需要能量型態為均勻分佈的雷射光束,包括雷射加工,醫療上、半導體加工製造等。 在低溫多晶矽製程技術上,為了將植…
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在現在市面上有一些顯示器是非自發光形式的,它需要光源以及光學元件。因此,這些光學元件必須被設計提升顯示器的性能。 本論文我們提出運用新的導光結構去連接光纖布與LED製成一個可彎曲的背光模組。在投影…
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為了獲得高性能高均一性的薄膜電晶體,我們藉由透鏡陣列輔助單晶定位技術,將TFT的通道位置以避開晶種的方式製作於粒徑為10μm的單晶矽晶粒中。另外我們也以半吸光層輔助結晶的技術,成功的在非晶矽膜以及多…
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為了達成塑膠基板薄膜電晶體的目標,我們成功開發出利用半吸光層經過準分子雷射回火後,可以實現低溫閘極絕緣膜的改質效果。而此絕緣膜是由100℃具吸收係數的SiONx與SiO2組成。 我們利用吸收係數40…
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本論文之目的在於針對接觸式影像感測器設計一個新型的微光學透鏡模組陣列,並提出一些改善導光管發散角過大問題的方法,以及整合微光學透鏡模組陣列與導光管,達到一體成型之想法。接觸式影像感測器為掃描器之硬體…
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本論文研究的目的為利用覆晶技術製作雷射陣列模組之封裝製程。此封裝模組由V槽、錫球、矽基板及單模透鏡光纖所組成。在V槽陣列的均勻度上,精度大部分都可以控制在正負1m以內。而在錫球方面,我們將有害的錫…